Visualisering af mikro- og nanostrukturer

• opsummere fordele og ulemper ved optisk mikroskopi (OM).
• opsummere fordele og ulemper ved scanning-elektronmikroskopi (SEM) og transmission-elektronmikroskopi (TEM).
• opsummere fordele og ulemper ved Atomar kraftmikroskopi (AFM) og scanning-tunnelmikroskopi (STM).
• forklare virkemåden, fysikken bag samt begrænsningerne ved ovenstående metoder.
• beregne og vurdere metrologiske aspekter af data genereret med ovenstående metoder.
• analysere og fortolke data genereret med ovenstående metoder.
• sammenligne egenskaber og relatere karakteristika af de ovenstående metoder.
• udvælge de rette visualiseringsmetoder til en given anvendelse.

På kurset gennemgås de vigtigste metoder til visualisering af mikro- og nanostrukturer, som anvendes på DTU og tilknyttede virksomheder. Dette omfatter bl.a.
· Optisk mikroskopi (OM)
· Scanning-elektronmikroskopi (SEM)
· Transmissions-elektronmikroskopi (TEM)
· Scanning-tunnelmikroskop (STM)
· Atomar kraftmikroskop (AFM)

Hver teknik gennemgås i en dedikeret praktisk øvelse. I disse øvelser vil du få adgang til state-of-the-art udstyr for at afbillede en prøve. Dette vil bidrage til forståelse af de gennemgåede visualiseringsmetoder.

Udover de praktiske øvelser, skal du gennemgå og evaluere en videnskabelig artikels brug af visualiseringsmetoder.

10031/10033/10036/10102/10104, Mekanik, Elementær elektromagnetisme og kvantemekanik svarende til DTU kurser 10031, 10033, 10036 og 10102/10104.

Det er tilstrækkeligt, hvis 10102/10104 tages parallelt.

Forelæsninger og øvelser, 4 timer om ugen.