Enkeltfag Engelsk 5 ECTS

Fabrikation af mikro- og nanostrukturer

Overordnede kursusmål

Komponenter og delsystemer fremstillet ved hjælp af nano- og mikrofabrikationsmetoder indgår i en lang række moderne produkter fra airbagsensorerne i en bil til processoren i en computer. Produkternes funktionalitet er kritisk afhængige af disse mikro- og nanokomponenter.

Det overordnede mål med kurset er at sætte dig i stand til at udvælge relevante processer, og designe en fremstillingsprocess til siliciumbaseret mikro- og nanofabrikation med anvendelse af de metoder der f.eks. bruges i DTU’s renrum, DANCHIP, samt hos en række danske virksomheder.

See course description in English

Læringsmål

  • forklare principperne i de basale litografiske metoder (herunder UV-litografi, elektronstrålelitografi samt nanoimprintlitografi) og deres anvendelsesområder samt begrænsninger.
  • forklare de basale principper, der anvendes ved planar processering (herunder termisk oxidation, ionimplantation, diffusion, metallisering samt våd- og tørætsning).
  • beregne relevante procesparametre (f.eks. tid, temperatur eller tryk) baseret på den underliggende teori (f.eks. termisk oxidation af silicium, ionimplantation, diffusion, elektronspredning og vekselvirkning mellem stråling og stof).
  • specificere detaljerede procesfølger til fremstilling af mikro- og nanosystemer.
  • vælge den bedst egnede procesteknologi for en given opgave under hensyn til tekniske og økonomiske overvejelser.
  • anvende ATHENA processimulatoren til at forudsige resultaterne af og optimere en siliciumbaseret fremstillingsproces.
  • forklare tekniske og fundamentale begrænsninger for de benyttede fremstillingsprocesser.
  • anvende kinetisk gas teori til at beregne procesparametre (f.eks. flux af molekyler, middelfri vejlængde).
  • diskutere og kommunikere fagets emner på engelsk.

Kursusindhold

I kurset gennemgås fysik, kemi og teknologi for fremstillingsprocesserne, der benyttes ved mikro- og nanofabrikation:
·Mønsterdannelse: UV-mikrolithografi, e-beam nanolithografi og nanoimprint.
·Mønsteroverførsel: ætsning, lift-off
·Tynd-film processer: CVD (Chemical Vapor Deposition), PVD (Physical Vapor Deposition), spin-on.
·Substrat-materialer: Silicium og silica
·Materialemodifikation: Ionimplantation og dotering – diffusion, varmebehandling
·Bonding – sammenføjning: anodiskbonding, fusionbonding
·Procesintegration
·Processimulering
Som en del af kurset lærer du at bruge en moderne processimulator (ATHENA – se http://www.silvaco.com) der tillader dig at foretage avancerede beregninger.

I den sidste del af kurset arbejder du i en gruppe med at lave en procesfølge for en komponent som gruppen selv har valgt. Processen præsenteres ved et foredrag for alle studerende.

Undervisningsform

Forelæsninger, e-læring og opgaveregning, 4 timer om ugen. I løbet af semestret er der tre hjemmeafleveringsopgaver. Kurset afsluttes med et projekt, der fremlægges mundtligt ved en videnskabelig mini-konference samt en skriftlig eksamen

Fakultet

Se kurset i kursusbasen

Tilmelding

Sprog

Engelsk

Varighed

13 uger

Institut

Sundhedsteknologi

Sted

DTU Lyngby Campus

Kursus ID 22600
Kursustype Bachelor
Semesterstart Uge 35
Semester slut Uge 48
Dage tirs 8-12
Pris

7.500,00 kr.

0 pladser tilbage

Tilmelding