Fabrikation af mikro- og nanostrukturer

• forklare principperne i de basale litografiske metoder (herunder UV-litografi, elektronstrålelitografi samt nanoimprintlitografi) og deres anvendelsesområder samt begrænsninger.
• forklare de basale principper, der anvendes ved planar processering (herunder termisk oxidation, ionimplantation, diffusion, metallisering samt våd- og tørætsning).
• beregne relevante procesparametre (f.eks. tid, temperatur eller tryk) baseret på den underliggende teori (f.eks. termisk oxidation af silicium, ionimplantation, diffusion, elektronspredning og vekselvirkning mellem stråling og stof).
• specificere detaljerede procesfølger til fremstilling af mikro- og nanosystemer.
• vælge den bedst egnede procesteknologi for en given opgave under hensyn til tekniske og økonomiske overvejelser.
• anvende ATHENA processimulatoren til at forudsige resultaterne af og optimere en siliciumbaseret fremstillingsproces.
• forklare tekniske og fundamentale begrænsninger for de benyttede fremstillingsprocesser.
• anvende kinetisk gas teori til at beregne procesparametre (f.eks. flux af molekyler, middelfri vejlængde).
• diskutere og kommunikere fagets emner på engelsk.

I kurset gennemgås fysik, kemi og teknologi for fremstillingsprocesserne, der benyttes ved mikro- og nanofabrikation:
·Mønsterdannelse: UV-mikrolithografi, e-beam nanolithografi og nanoimprint.
·Mønsteroverførsel: ætsning, lift-off
·Tynd-film processer: CVD (Chemical Vapor Deposition), PVD (Physical Vapor Deposition), spin-on.
·Substrat-materialer: Silicium og silica
·Materialemodifikation: Ionimplantation og dotering – diffusion, varmebehandling
·Bonding – sammenføjning: anodiskbonding, fusionbonding
·Procesintegration
·Processimulering
Som en del af kurset lærer du at bruge en moderne processimulator (ATHENA – se http://www.silvaco.com) der tillader dig at foretage avancerede beregninger.

I den sidste del af kurset arbejder du i en gruppe med at lave en procesfølge for en komponent, som gruppen selv har valgt. Processen præsenteres ved et foredrag for alle studerende.

Forelæsninger, e-læring og opgaveregning, 4 timer om ugen. I løbet af semestret er der tre hjemmeafleveringsopgaver. Kurset afsluttes med et projekt, der fremlægges mundtligt ved en videnskabelig mini-konference samt en skriftlig eksamen