Enkeltfag Engelsk 5 ECTS

Introduktion til renrums-baseret mikrofabrikation

Overordnede kursusmål

Det overordnede formål med kurset er at give dig teoretisk baggrund og praktisk erfaring med de mest almindelige eksperimentelle teknikker, der anvendes til siliciummikrofabrikation. Du vil blive introduceret til mikrofabrikationsmetoder såsom fotolitografi, ætsning, tyndfilmdeponering og karakteriseringsmetoder såsom scanning elektronmikroskopi (SEM) og profilometri. I løbet af kurset vil de studerende fremstille en fungerende tryksensor og karakterisere den i DTU Nanolab-renrummet. Dette vil gøre dig i stand til at designe en fremstillingsproces, tegne en lithografisk maske og arbejde sikkert i DTU Nanolab-renrummet.

See course description in English

Læringsmål

  • Arbejde sikkert, rent, venligt, og uafhængigt i DTU Nanolab-renrummet
  • Forklare fysik og kemi relateret til udstyret til specialister og generalister
  • Forklare tekniske og fundamentale begrænsninger for en specifik fremstillingsproces
  • Beregne relevante procesparametre
  • Analysere og anvende procesresultater
  • Tegne fotomasker
  • Designe og fremstille et enkelt mikromekanisk system (MEMS)
  • Præsentere og diskutere en proces følge og fremstillingsresultater
  • Ved kritisk vurdering udvælge processer og karakteriseringsudstyr til ens egen procesfølge

Kursusindhold

Kurset består af en teoretisk del og en eksperimentel del. I den eksperimentelle del vil de studerende fremstille og karakterisere en fungerende tryksensor. Den eksperimentelle del vil dække følgende emner:

• Kemisk pådampning ved lav tryk
• UV-litografi
• Kemisk vådætsning
• Reaktiv ionætsning
• Fysisk pådampning
• Lift Off
• Scanning elektronmikroskopi
• Elektrisk karakterisering ved brug af en probe-station

I den teoretiske del beskrives fysikken, kemi og teknologien i de fremstillingsprocesser, der anvendes i moderne nanofremstilling. Emner, der dækkes, inkluderer:

• Alle ovenstående og
• Plasma forstærket kemisk pådampning
• Substratmaterialer: Silicium og Silica
• Materialemodifikation: Ionimplantation og doping-diffusion, annealing
• Bonding: Anodisk bonding, fusion bonding
• Procesintegration
• Processimulering

Til eksamen vil studerende præsentere det arbejde, de har udført i renrummet, og de vil fremlægge de målte data fra deres tryksensorer.

Undervisningsform

Praktiske instruktioner, forelæsninger, e-learning, øvelser og projektarbejde.

Pladsbegrænsning

Minimum 6, Maksimum: 12.

Vær opmærksom på, at dette enkeltfagskursus har et minimumskrav til antal deltagere. Derudover er der begrænsning på antallet af studiepladser. Er der for få tilmeldinger oprettes kurset ikke. Er der for mange tilmeldinger, vil der blive trukket lod om pladserne. Du får besked om, om du har fået tildelt en studieplads senest 8 dage før kursusstart.

Se kurset i kursusbasen

Tilmelding

Sprog

Engelsk

Varighed

3 uger

Institut

Fysik

Sted

DTU Lyngby Campus

Nanolab
Kursus ID 10852
Kursustype Kandidat
Semesterstart Uge 23
Semester slut Uge 26
Dage Man-fre 8:00-17:00
Pris

9.250,00 kr.

Vær opmærksom på dette kursus har deltager begrænsninger. Læs mere

Tilmelding